91在线观看精密科技（大連）有限（xiàn）公司提供CVD-SIC（碳化矽）表麵塗層加工服務。

同時我們還提供TaC（碳化鉭）塗層加工,PG（Pyrolytic Graphite，熱解石墨，熱解碳）塗層（céng）加工，GC（Glassy Carbon,玻璃碳）含浸加工等高（gāo）溫耐氧（yǎng）化塗層加工服務。

● CVD-SIC塗層加工服務介紹：
           
           CVD-SIC塗層具有結構均勻，材質致密，耐高溫（wēn）、抗氧化、純度高和耐酸堿鹽及有機試劑等特性，物理化學性（xìng）能穩定。

與高純度石（shí）墨材料相比，高純石墨材料在400℃環境下開始發生氧化，長期使也會因氧化而掉粉末，造成周邊器（qì）件，真空腔（qiāng）體內的環境汙染，增（zēng）加高（gāo）純環境的雜質。但SIC塗層可以在（zài）1600度環境（jìng）下保持物理，化學性能（néng）穩定，現代工業，特別是半導體工業中得（dé）到廣（guǎng）泛應（yīng）用。最為突出的使用例為LED生產（chǎn）中的MOCVD的晶圓托盤，長期（qī）在1200度環境下使用亦可保持穩定（dìng）性。其它行業也有逐漸取（qǔ）代單純的高純石（shí）墨材料的趨勢。
   本公司提供的SIC塗層（鍍層）加工服務（wù）是以CVD（化學氣相沉積）法在石（shí）墨，陶瓷等材料表麵，使含碳與（yǔ）矽的特使特種氣體在高溫下發生化學反應，得到高純度SIC分子，分子沉積在被塗材料表麵，形成（chéng）SIC保護層。形（xíng）成的SIC牢牢巴結在石墨基體上，賦予石墨基體特殊的性能，從而使石（shí）墨基座表麵致密、無孔隙、耐高溫、抗溶蝕、抗氧化。
           

CVD-SIC塗層加（jiā）工圖解

● 主要特點：
   1.高溫抗氧化：抗（kàng）氧化,溫度高達1600℃時抗氧化性能仍然非常好。
   2.純度高（gāo）：高溫氯化條件下化學氣相沉積方法製得的。
   3.耐衝刷：硬度高、表麵（miàn）致密、顆（kē）粒細。
   4.抗腐蝕性：耐酸、堿、鹽及有機試（shì）劑。
           

CVD-SIC塗層形成過和示意圖（原理圖）

● CVD-SIC塗層的主要規格：

● CVD-SIC塗層（céng）的（de）產品應用：
   單晶矽外延生長用的石墨基座塗（tú）層，平板基座、圓形基座、立（lì）體基座的（de）塗（tú）層。