半導（dǎo）體製造用真（zhēn）空閥門（mén）（Slit Valve Door）（台（tái）灣產）

本產品是由台灣擁有四（sì）十年橡膠產品生（shēng）產經驗，氟化橡膠產品生產經驗接近十年，並在（zài）日本，韓國，台灣地區的半導體行業得到廣泛應（yīng）用的（de）專業企業（yè）生產，全部（bù）氟化橡膠產品的生產線（xiàn）設在台灣，擁有100級和（hé）10000級的潔淨室，擁有高精密度三次元測量儀，專業的電漿雜質測試設備等，保證高給客戶提供高品質的產品。且有開發能力，可（kě）以根據客戶要求提供相應產品（pǐn）。

產品特（tè）點：

1，耐高溫；

2，抗等離子；

3，低雜質產生，高純度；

4，使（shǐ）用壽命長；

5，低金（jīn）屬含量；

6，低氣體放出；

7，價格（gé）低廉。

可以提供產品線（xiàn）：

對應6英寸半導體生產線及8英寸半導體生產線特點

低雜質放出量，

防止金屬接觸（chù），

長時（shí）間使用壽命。

對（duì）應12英寸（cùn）半導體生產（chǎn）線產品特點（diǎn）

安裝簡單，

價格低廉。

對應（yīng）材料：FKM，FFKM

產品例

應用領域：IC， LCD， LED， OLED等半導體行業的生產製造過程中的下列製程

幹法蝕刻（Dry Etching), 濕法蝕刻（Wet Etching), CVD, PVD, 擴散（Diffusion)等。

等離子（電漿）雜質檢測設備/壓力檢測設備

FTIR/三次元（yuán）測量

RIE測（cè）試設備（bèi）/PECVD測試設備

KEYWORDS：密封圈，全（quán）氟密封（fēng）圈（quān），全氟O型圈，O ring, O RING, O-RING, 密封件， 氟膠（jiāo）圈，氟膠墊片，O型氟膠圈， 氟膠墊片，   氟膠條， 氟膠管， 氟膠平墊圈， 進口O型圈， 方型圈，星型圈， 不（bú）規（guī）則密封橡膠條， 真（zhēn）空閥門， 真空狹縫門， 真空檔板， 鋁（lǚ）檔板，