接確（què）式對準曝光機

發布時間：2025-06-23

作者：91在线观看精密科技（大連）有限公司

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產品描述：91在线观看（ruì）精密科技（大連）有限（xiàn）公司提供進口小型接確式對準曝光機 MASK ALIGNER對準曝光機- MaskAligner■特點 ■手（shǒu）動操作、接觸式對準曝光機。 ■依（yī）照不同需求以及（jí）成本考量有準直儀型多（duō）麵鏡型整（zhěng）合(積算器)型三種曝光光源。 ■有可對應（yīng）5×5mm

產品特點

91在线观看精密科技（大連）有限公司提供進口小型（xíng）接確（què）式對準（zhǔn）曝光機 MASK ALIGNER

對準曝光機- MaskAligner

■特點

■手動操作、接觸式對準曝光機。
■依照不同需求以及成本考量有準直儀型多麵鏡型整合(積算器)型三種（zhǒng）曝光光源。
■有可對（duì）應5×5mm～100×100mm以及Φ1 inch～ 6 inch的基板的各類機種。
■Mask Holder載台的更換作業簡單（dān）易行，可（kě）在１分鍾（zhōng）內（nèi）完成（chéng），適合用（yòng）於（yú）研究開（kāi）發。
■對準顯微（wēi）鏡的對物鏡可對應高對準精度或厚膜等用途，並且有（yǒu）4×、10×、20×三種。

■共通規（guī）格

接觸方法	軟性接觸（chù）/ 硬性接觸(部分選配)
對準精度	使用對物鏡（jìng）20×時＜1.2μm(M-1S除外)
對準顯微鏡（jìng）	雙視（shì）野顯微鏡對物鏡間隔18~60mm (M-1S除外)
曝光（guāng）波長	多（duō）頻率(h．i．g線)

MA係列半自動型，用於IC少量生產，MEMS等用途

MA-10 低成本（běn），標（biāo）準型

規格基板尺寸MAXΦ4 inchMask尺寸MAX 5×5 inchUV燈箱準直儀型（xíng）照度>8mW/cm2照度均一性<±8.5%硬性接觸有對準點間隔測長功能不可裝配計光量（liàng）計（jì）不可裝配防震台選配外形尺寸(mm)700W×570H×650D

具體需求請向我司谘詢。

KEYWORDS：小型對準（zhǔn）式曝光機，半導體製（zhì）造小型接確式曝光機，MEMS用曝光機