91在线观看（ruì）精密科技（大連）有限公司提（tí）供日本出口高精度小型半導體製造實驗旋轉塗布機，SPIN COATER

產（chǎn）品特點：

■本產品采用獨（dú）特的旋轉控製係（xì）統不但可以達到5,000rpm以上的（de）高速旋轉，且旋轉數精度全實現了    ±1rpm的高精度
   ■可任（rèn）意設定（dìng）旋轉數(0~5,000rpm)和（hé）到達（dá）旋轉數（shù）的（de）時間(0.2sec~999.9sec)，因此可輕易地控（kòng）製膜厚。
   ■可追加滴下裝置(MS-A150/MS-A200)

產（chǎn）品主要功（gōng）能：

■采（cǎi）用（yòng）AC伺服電動機
   ●無刷式，不會造成無塵室汙染。
   ●減少電動機發熱，也減少因連續使用時（shí）的溫度上（shàng）升造成對膜厚再現性的影響。
   ●電力消費低，減低環境的負擔（dān）。
   ■擴張程式（shì）功能
   ●最多有100階段程（chéng）式、可記（jì）憶10種模式（shì），更容易使用（yòng）。
   ■所有機型皆標準配備數位式真空計
   ■方形基板等可設定停止時位置，超方便
   ■安全裝置機構(真空壓及蓋（gài）子)
   ●由於薄膜或晶（jīng）圓容易破裂，而降低吸（xī）附壓力（lì）時，可以變更（gèng）安全裝置機構（真空）的稼（jià）動壓力。

產品（pǐn）型號及主要規格：

型號		MS-B100	MS-B150	MS-B200
基板尺寸（cùn）		MAX4inch(75×75mm)	MAX6inch(100×100mm)	MAX8inch(150×150mm)
旋轉數		50~7,500rpm	50~7,000rpm	50~5,000rpm
旋轉精度		±1rpm	±1rpm	±1rpm
蓋子		壓克力（lì）	壓克力	PC
安全裝置	蓋子	選配	選配	○
	真空	○	○	○
滴下裝置		不可裝配	選（xuǎn）配（pèi）	選配
使（shǐ）用真空源		-0.08~0.1MPa	-0.08~0.1MPa	-0.08~0.1MPa
電源		AC100~110V    50/60Hz 5A	AC100~110V    50/60Hz 5A	AC100~110V    50/60Hz 5A
外形尺寸(mm)		260W×230H×330D	360W×302H×435D	503W×350H×580D
外觀

MS-B200 密閉型

產品特點：

■可減低因旋轉而產生的氣流（liú）不穩，均勻塗膜
   ■EB光刻劑塗布效果佳
   ■低沸點溶劑塗布（bù）效果佳
   ■可減低光刻劑的使用量
   

●試料需使用合適的載台。有關載台的問題（tí），請與敝司聯絡。

KEYWORDS： 半導體旋轉塗布機，實驗機，MS-B100， MS-B150， MS-B200， MEMS用塗布機（jī）