二氧化碳發泡機
發布時間：2025-06-19
作者：91在线观看精密科技（大（dà）連）有限公司
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產品描述：超純水用（yòng）帶電防止器（qì）（The Antistatic System for Ultrapure Water, MEGCON II） (日（rì）本NGK）半導體產品（pǐn）製造中（zhōng），利用超純水（shuǐ）清洗時必不可（kě）少（shǎo）的（de）設備。概要通常的精密清洗過程（chéng）中，往往使用不含離子的超純水進行清洗，這樣超純水很容易產生靜電，是以下的各種產（chǎn）品不良的主要原（yuán）因。・由靜電產生電路破壞（靜電擊穿）・被清洗
超純水用帶電防止器（The Antistatic System for Ultrapure Water, MEGCON II） (日本NGK）
半導體產品製造中，利用超純水清（qīng）洗時必不可少的設備。
概要
通常的精密清洗過程中，往往使用不含離子的超純水進行清洗，這樣超純水很容易產（chǎn）生靜電，是以下的各種（zhǒng）產品不良的主要原因。
・由靜（jìng）電產生（shēng）電路破壞（靜電擊穿（chuān））
・被清洗物表麵付著電荷，由靜電吸（xī）引產（chǎn）生的微粒子粘著
超純水用靜電防止器（MEGAON II） 利用向超純水中深解二氧化（huà）炭（tàn）氣體的方式（shì），將電荷導出，達到除靜電，搞（gǎo）高產品的良品率的目的。
用途
・半導體劃片（piàn）製程裏的清洗
・高壓噴射清洗
・液晶麵板清洗
・曝光用MASK清洗
分類
分為MEGACON與ALKARI MEGACON 兩種
MEGACON
特點
1，通過膜將二（èr）氧化碳溶解到超純水中，微粒子的混入危險（xiǎn）性小，信設備信（xìn）賴性高；
2，采用（yòng）自動（dòng）控製係（xì）統，流量變動，目標水（shuǐ）阻值可以達到精確控（kòng）製；
3，設備進出超純水的壓力損失少；
4，歐洲電器標準CE
原理
通過膜裝二氧化碳氣體溶解到超純（chún）水（shuǐ）中。
產品規格
| 通用係列 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 規（guī）格 | 框架式 | PRCⅡ-1000AD | PRCⅡ-1200AD | PRCⅡ-2000AD | PRCⅡ-1220AD | |
| 櫃式 | 標準型 | PRCⅡ-1000ACD | PRCⅡ-1200ACD | PRCⅡ-2000ACD | PRCⅡ-1220ACD | |
| S型（xíng） ※1 | PRCⅡ-1000ACD-S | PRCⅡ-1200ACD-S | PRCⅡ-2000ACD-S | PRCⅡ-1220ACD-S | ||
| 性能 | 最大流量 | 1000 L/h | 1000 L/h | 2000 L/h | 2000 L/h | |
| 係（xì）統控（kòng）製 （最小水阻，流（liú）量約500L/h時的值） | 0.2～2 MΩ・cm | 0.1～0.5 MΩ・cm | 0.2～2 MΩ・cm | 0.15～1 MΩ・cm | ||
| 氣體部分 | 氣體鋼瓶內藏式 | |||||
| 超純水水管口（kǒu）徑 | 框架式 | 軟管噴嘴（ID19φ編織軟管） | ||||
| 櫃式 | Rc1/2 | Rc3/4 | ||||
| 尺寸 | 框架式（shì） | 480W×355D×200H mm | ||||
| 櫃式 | 標準型 | 520W×400D×1150H mm | ||||
| S型（xíng） ※1 | 520W×400D×1415H mm | |||||
| 重（chóng）量 | 框架式 | 15kg | ||||
| 櫃式 | 標準（zhǔn）型 | 65kg | ||||
| S型 ※1 | 66kg | |||||
| 電源 | AC100-240V（50/60Hz） （購入時請指定（dìng）、無（wú）指定情況下（xià）為AC100-120V） | |||||
| 液體接觸部分材（cái）質 | 膜箱CELL（二氧化碳導入部件（jiàn））→PP | |||||
| 櫃式塗裝色 | Munsell 2.5Y8 / 2 | |||||
| 標裝附屬品 ※2 | 框架式 | 使用說明書，檢查（chá）成績書 | ||||
| 櫃式 | 標準型 | 使用說明書，檢查成績書 電源100-120V時：電源線（xiàn）（AC100-120V用）+插頭 電源200-240V時：電源（yuán）線（AC200-240V用） （上記以外的（de）部件由用戶自行準備） | ||||
| S型 ※1 | ||||||
| CE標識 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 規格 | 框架式 | - | - | |||
| 櫃式 | E型 | FRCⅡ-1000ACD-E | FRCⅡ-2000ACD-E | |||
| ES型（xíng） ※1 | FRCⅡ-1000ACD-ES | FRCⅡ-2000ACD-ES | ||||
| 性能 | 最大流量 | 1000 L/h | 2000 L/h | |||
| 係統控製 （最小水阻，流量約500L/h時的值） | 0.2～2 MΩ・cm | 0.2～2 MΩ・cm | ||||
| 氣體部分 | 外部氣體供給式 | |||||
| 超純水水管口徑 | 框（kuàng）架式（shì） | - | ||||
| 櫃（guì）式 | Rc3/4 | |||||
| 尺寸 | ラック型 | - | ||||
| 櫃（guì）式 | E型 | 520W×470D×1150H mm （含防倒部分） | ||||
| ES型 ※1 | 520W×470D×1390H mm （含防倒部分） | |||||
| 重量 | 框架式 | - | ||||
| 櫃式（shì） | E型 | 65kg | ||||
| ES型 ※1 | 66kg | |||||
| 電源 | AC100-240V（50/60Hz） | |||||
| 液體接觸部分材質 | 膜箱CELL（二氧化碳導入部件）→PP 配管→SUS304、PP、編織軟管 | |||||
| 櫃式塗裝色 | Munsell 2.5Y8 / 2 | |||||
| 標準附屬品 ※2 | 框架式 | - | ||||
| 櫃式 | E型 | 使用說明書，檢查成（chéng）績書 電源線（AC100-240V用（yòng））+歐洲標（biāo）準插頭 | ||||
| ES型 ※1 | 使用說明書，檢查成績書 電源線（AC100-240V用）+歐洲（zhōu）標準插（chā）頭（tóu）， 數據保存係統 | |||||
※1:S型為2色燈報警器+可移動用腳輪。ES型為2色燈報警器+數據輸出用端子及數據保存（cún）用係統。
※2:其它（tā）附屬品從下記名稱中選（xuǎn）出。預備（bèi）用膜（mó）箱CELL，做為備用，推薦購買。
・校正證明書（水阻）
・預備用膜箱（xiāng）CELL
・水阻監視傳感器SENCER
・數（shù）據保存係統
※3:超純水的常用（yòng）壓力為0.35MPa，瞬時最大壓力保持在0.45MPa以下（xià）。
ALKARI MEGCON
特點
1.以改變被清（qīng）洗（xǐ）物表麵的電位的極（jí）性及電量的變化，來防止微粒子的靜（jìng）電付著；
2.采用自動控製係統，流量變動，目（mù）標水阻值可以（yǐ）達到（dào）精確控製。
原理
利用膜將氨水注入到超純水中
| 規格型號 | AMII-10P | AMII-20P | |
|---|---|---|---|
| 性能 | 流量 | 300～600 L/h | 600～1200 L/h |
| 控製範圍 | 0.1～1MΩ・cm | ||
| 配管口徑 | 超純水 | Rc 1/2 | Rc 3/4 |
| 排氣 | 25A PVC接頭 | ||
| 尺寸 | 520W x 400D x 1150H mm | ||
| 重量（liàng） | 65kg | ||
| 其它標準（zhǔn） | 氨水 | 電子級 | |
| 氮氣 | 0.3～0.5MPa x 50NL/min | ||
| 電源 | AC100V(50/60Hz) | ||
| 塗裝色 | Munsell 2.5Y8 / 2 | ||
| 可選項 | 1.氨水蓄液罐0～15L) 2.氨水殘量監視器(附帶報警器) | ||
可選備品
數據保存係統
可以將水阻值，溫度（dù），流量數據（jù）導入電腦，圖表表示。
這些數據可以提高清洗（xǐ）管理水平，及良品率。
| 對應OS | Windows2000、XP、VISTA | |
| 使用環境 | CPU | Pentium 150MHz以上 |
| HDD容量 | 10MB以上 | |
| 內存 | 32MB以上 | |
| 圖表 | 畫麵種類 | 1.即時（shí）表示 2.保存數據再表（biǎo）示 |
| 表示項目 | 縱軸：水阻測（cè）定值(2點)、水溫測定值1點)、流量演算（suàn）值(1點) 橫軸：時間（jiān）(年月日時分秒) | |
| 警告表示 | 水（shuǐ）阻值上下限警告（gào），二氧化（huà）碳（tàn）殘（cán）量少 | |
| 數據保存 | 樣本周期 | 1～60sec (1sec刻度) |
| 保管形式（shì） | csv形式、1小時一回數（shù）據保存 | |
| 最長時間 | 最長1個月（yuè） | |
| 使用（yòng）數據線 | RS-232C(d-sub pin)、RS-485 | |
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