CMP研磨用保持環

CMP研磨用（yòng）保持環

發布時間：2025-06-18

作（zuò）者：91在线观看精密科技（大連）有限公司

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產品描述：我司自行生產製造（zào）CMP RETAINER RING CMP保持環，半（bàn）導體生（shēng）產用化學機械研磨法用保持環91在线观看精密科技（jì）大（dà）連有限公司加工銷售半導體用高精密CMP RETAINERRING，CMP保持環備件產品，可提供美國（guó）應用材料（AMAT），日本荏原（EBARA），SPEEDFAM， NOVELLUS，東京精密ACCRETEH等主要半導體設備商的及各小廠的6英（yīng）寸，8英寸，12英寸

產品（pǐn）特點

我司（sī）自行生產製造CMP RETAINER RING CMP保持環，半導體生產（chǎn）用化學機械研磨法用保持環

91在线观看精密（mì）科技大連有限（xiàn）公司加工銷售半導體用高精密CMP RETAINER　RING，CMP保持環備件產品，可提供美國應用材料（AMAT），日本荏原（EBARA），SPEEDFAM， NOVELLUS，東京精密ACCRETEH等主要半導體設備商的及各小（xiǎo）廠的6英寸，8英寸，12英寸的CMP RETAINER RING的反（fǎn）向設計及生產，精密高，產品質量穩定，世界各大廠商（shāng）采用業績非富。

產品介紹（shào）：

AMAT設備為代（dài）理的樹脂與（yǔ）金屬結合型CMP RETAINER RING結構
	主要構成：・PPS樹脂部分　與（yǔ）原廠保持一致，根據客戶需要提供材質。　其它材質PEEK樹脂，PET樹脂等也有（yǒu）使用（yòng），請　谘詢。・金屬部分采用不鏽鋼材料（liào）
EBARA設備為代表為全樹脂型CMP RETAINER RING結構
	主要結構：・全PPS樹脂結構，同樣采用以下三家廠商材料，　與原廠保持一致。　其它材質PEEK樹脂，PET樹脂等也有使用（yòng），請　谘詢。
特殊鎢製程（chéng）用（yòng）PEEK材質CMP RETAINER　RING結構
	主要構成：・樹脂部分采（cǎi）用PEEK+40%炭素材料（liào），　硬度與耐磨性較PPS要好，消耗亦減少。・金屬部分采用不（bú）鏽鋼材料。

產品主（zhǔ）要特點：

提供樹脂表（biǎo）麵的鏡麵拋光研磨：

此項服務可以（yǐ）讓最終用戶的DUMMY研磨時間降低，同時降（jiàng）低相關耗材的消耗，節約客戶成本，提供客戶生產效率。

上圖為表麵鏡表（biǎo）研磨後采用特殊光學幹涉檢（jiǎn）查裝置，檢查拋光後（hòu）的樹脂表麵粗糙度照（zhào）片，鏡表粗糙（cāo）度（Mirror Surface roughness, ）控製在Ra 0.588~0.881 (µm)

提供背部的金屬或樹脂的平行度研磨：

產品的上下表麵的平行度會影響被研磨晶圓的精準度及晶（jīng）圓加工過程中（zhōng）的各部位的研磨率，為保證被加工晶圓的（de）精密（mì）度，出（chū）貨前做背部的平行研磨，車（chē）削產品件的精度平行度在50µm,背（bèi）部平行（háng）研磨後的（de）產品件（jiàn）的平行精度會隆到15µm，大大提高了被加工體（tǐ）的精密（mì）。

可以提供的相關（guān）規格（gé）

200MM AMAT設備（bèi）用 PPS與不鏽（xiù）鋼接合型 CMP RETAINER　RING		200MM AMAT設備用全PPS樹脂無溝（gōu）槽型（xíng） CMP RETAINER　RING
200MM AMAT設備用 PEEK+40%炭素材料與不鏽（xiù）鋼接合（hé）有溝槽型 CMP RETAINER　RING		200MM AMAT設備（bèi）用 PEEK+40%炭素材料與不鏽鋼（gāng）接合無溝槽（cáo）型 CMP RETAINER　RING
150MM 全PEEK+40%炭素材料 CMP RETAINER　RING		200MM 全PEEK樹脂 CMP RETAINER RING
200MM 全PET材質研磨用 CMP RETAINER　RING		150MM 全PET材質（zhì）研磨用 CMP RETAINER　RING
200MM 全PET-ETX 材質研磨（mó）用 CMP RETAINER　RING		200MM 全PBT材質研磨用 CMP RETAINER　RING
200MM NOVELLUS EXTENSION RING AURIGA SERIES 有溝槽係列		200MM NOVELLUS EXTENSION RING AURIGA SERIES 無溝槽係（xì）列
200MM NOVELLUS AURIGA GUIDE RING		150MM NOVELLUS AURIGA GUIDE RING
300MM EBERA G3 全（quán）樹脂係列附密封橡（xiàng）膠（jiāo） CMP RETAINER　RING		200MM EBARA 全樹脂係列 CMP RETAINER　RING
200MM EBARA 全樹脂係列 CMP RETAINER　RING		150MM PETER WOLTER GUIDE RING
300MM AMAT設備用 PPS與不（bú）鏽鋼接合型 CMP RETAINER　RING		300MM EBARA G2 全樹脂係列 CMP RETAINER　RING
300MM EBARA G2S 全樹脂係列 CMP RETAINER　RING		300MM EBARA PEEK+40%炭素 CMP RETAINER　RING
300MM AMAT MEMBRANE DIAPHRAGM		200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM
200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM	可以加工的設備商名（míng）：	AMAT(MIRRA, REFREXTION)， EBARA，NOVELLUS， ACCRETECH， SPEEDFAM， PETER　WOLTER