91在线观看精密科技（大連）有限公司（sī）提供進口半導體工業用（yòng）旋轉（zhuǎn）幹燥設備，SPIN DRYER，有需求請向我司谘詢（xún）。

SEMICONDUCTOR SPIN DRYER（SPIN RINSE DRYER）

產品主（zhǔ）要用（yòng）途（tú）：
   ・半導體晶圓類產品的（de）噴水清洗及旋轉甩幹

・晶圓表麵的化學品及雜質的去除

產品特點：

・小型化，緊湊化設計，占用麵積及空間更小，特別是立式（shì）機，占地更小。

・設計（jì）簡單，操作更容易。

・產品線豐富，可以處理2-12寸的（de）所有尺寸晶圓或基（jī）板。

・一機（jī）可以處理多個尺（chǐ）寸，通常一機追加夾具後可以處理兩到三個尺寸的晶圓。

・可以根（gēn）據客戶的處理要（yào）求做夾具及腔體的更改設計。

・內部（bù）結構部件采用高耐腐蝕性SUS316材質，耐久性更好，對（duì）被清洗材料汙染更小。

・可以自行設定清洗工藝步驟。

・臥式機可以高（gāo）效率工作，一次處理多盒

產品類型：

立式旋（xuán）轉幹燥設備（vertical SPIN DRYER)	臥式旋轉幹燥設備（horizontal SPIN DRYER)

           適用處理產品類型：

矽材質晶圓	玻璃石英（yīng）類基板	化合物類基板
半導體類備件	MEMS類	MEMS類

立式機的主要（yào）特點：

內部腔體采用SUS316材（cái）質（zhì）	可以根據客戶處理要求定製夾具
追加夾具一機可以處（chù）理2寸	同時也可以處理4寸及以上尺寸

臥（wò）式（shì）機的主要（yào）特點：

高效處理可以做在線機台	第次可以同時處理2-6盒晶圓（yuán）

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